Revestimento do íon do arco
PVD - deposição de vapor físico
Uma forma de deposição física de vapor (revestimento de PVD) é o revestimento por íon em arco. A história do revestimento PVD começou usando a tecnologia de arco, que tem sua origem na soldagem a arco.
Alvos
O metal a ser evaporado é colocado como bloco sólido (alvo) contra o interior de uma câmara de vácuo. Uma descarga luminosa é inflamada e corre sobre o alvo, deixando uma pegada. Pequenos pontos de alguns materiais alvo com diâmetro de μm são evaporados. O movimento do arco pode ser guiado por ímãs.
Revestimento de plasma
O material ionizado evaporado é usado como revestimento de plasma em um produto que gira dentro da câmara de vácuo. Revestimentos de arco são usados como revestimento de ferramentas e revestimento de componentes.
Exemplos de revestimentos
Exemplos de revestimento por arco são os revestimentos TiN, AITiN, AICrN, TiSiN, TiCN, CrCN e CrN
Vista esquemática de um processo de arco PVD./strong>
A caracterizada de tecnologia de revestimento a arco:
Altas taxas de deposição (1 ~ 3 μm / h) Alta ionização, resultando em boa aderência e densos revestimentos À medida que o alvo é resfriado, pouco calor para o substrato é gerado, mesmo o revestimento em temperaturas abaixo de 100 ℃ é possível Várias composições de metais podem ser evaporadas, deixando o restante do alvo sólido inalterado em sua composição
Os catodos podem ser colocados em qualquer posição (horizontal, vertical, de cabeça para baixo), o que possibilita um projeto flexível da máquina
As principais desvantagens da tecnologia de revestimento a arco:
Tipo limitado de materiais alvo - apenas metais (sem óxidos) - que não têm uma temperatura de evaporação muito baixa
Devido às altas densidades de corrente, alguma quantidade do material alvo é ejetada como pequenas gotículas de líquido.
