Revestimento de íon arco DK

Revestimento de íon de arco

PVD - deposição física de vapor
Uma forma de deposição física de vapor (revestimento PVD) é o revestimento de íons de arco. A história do revestimento PVD começou com a tecnologia de arco, que tem sua origem na soldagem a arco.

Alvos

O metal a ser evaporado é colocado como um bloco sólido (alvo) contra o interior de uma câmara de vácuo. Uma descarga luminosa é acesa e atinge o alvo, deixando uma pegada. Pequenos pontos de material alvo com alguns μm de diâmetro são evaporados. O movimento do arco pode ser guiado por ímãs.

Revestimento de plasma

O material ionizado evaporado é usado como revestimento de plasma em um produto que gira dentro da câmara de vácuo. Os revestimentos de arco são usados ​​como revestimento de ferramentas e revestimento de componentes.

Exemplos de revestimentos

Exemplos de revestimento de arco são revestimento de TiN, AITiN, AICrN, TiSiN, TiCN, CrCN e CrN

Vista esquemática de um processo de arco PVD.

O caracterizado da tecnologia de revestimento Arc:

Altas taxas de deposição (1~3 μm/h) Alta ionização, resultando em boa adesão e revestimentos densos À medida que o alvo é resfriado, pouco calor é gerado no substrato, mesmo o revestimento em temperaturas abaixo de 100°C é possível Várias composições de metais podem ser evaporou, deixando o alvo sólido restante inalterado em sua composição. Os cátodos podem ser colocados em qualquer posição (horizontal, vertical, de cabeça para baixo), o que possibilita um design flexível da máquina.

As principais desvantagens da tecnologia de revestimento por arco:

Tipo limitado de materiais alvo - apenas metais (sem óxidos) - que não têm uma temperatura de evaporação muito baixa. Devido às altas densidades de corrente, alguma quantidade do material alvo é ejetada como pequenas gotículas líquidas.