Revestimento do íon do arco

PVD - deposição de vapor físico
Uma forma de deposição física de vapor (revestimento de PVD) é o revestimento por íon em arco. A história do revestimento PVD começou usando a tecnologia de arco, que tem sua origem na soldagem a arco.

Alvos

O metal a ser evaporado é colocado como bloco sólido (alvo) contra o interior de uma câmara de vácuo. Uma descarga luminosa é inflamada e corre sobre o alvo, deixando uma pegada. Pequenos pontos de alguns materiais alvo com diâmetro de μm são evaporados. O movimento do arco pode ser guiado por ímãs.

Revestimento de plasma

O material ionizado evaporado é usado como revestimento de plasma em um produto que gira dentro da câmara de vácuo. Revestimentos de arco são usados ​​como revestimento de ferramentas e revestimento de componentes.

Exemplos de revestimentos

Exemplos de revestimento por arco são os revestimentos TiN, AITiN, AICrN, TiSiN, TiCN, CrCN e CrN

Vista esquemática de um processo de arco PVD./strong>

A caracterizada de tecnologia de revestimento a arco:

Altas taxas de deposição (1 ~ 3 μm / h) Alta ionização, resultando em boa aderência e densos revestimentos À medida que o alvo é resfriado, pouco calor para o substrato é gerado, mesmo o revestimento em temperaturas abaixo de 100 ℃ é possível Várias composições de metais podem ser evaporadas, deixando o restante do alvo sólido inalterado em sua composição Os catodos podem ser colocados em qualquer posição (horizontal, vertical, de cabeça para baixo), o que possibilita um projeto flexível da máquina

As principais desvantagens da tecnologia de revestimento a arco:

Tipo limitado de materiais alvo - apenas metais (sem óxidos) - que não têm uma temperatura de evaporação muito baixa Devido às altas densidades de corrente, alguma quantidade do material alvo é ejetada como pequenas gotículas de líquido.