Fonte de alimentação DC

A fonte de alimentação DC resfriada a água com estrutura compacta pode alcançar a melhor qualidade de revestimento, para que possa substituir a fonte de alimentação de pulso no processo de pulverização catódica.

Características:

• O sistema reduz consideravelmente o tempo de reação, e a energia do arco residual é reduzida a uma taxa mínima
• Mesmo na alta taxa de arco do processo, pode garantir que o filme seja fino e homogêneo.
• Energia do remanescente do arco extremamente baixa, recuperação rápida
• Aplicações avançadas de DC sputtering
• Para alcançar alta potência em uma estrutura compacta
• Fonte de alimentação refrigerada a água

Benefício do cliente:

• Melhorar significativamente a eficiência da produção
• Qualidade de filme de alto desempenho
• Ainda maior do que 40 KW de alimentação, e integração do sistema também é muito conveniente
• Alta estabilidade do sistema e baixo custo de manutenção