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O núcleo do DC Magnetron Sputtering Deposition System reside na engenhosa combinação de fonte de alimentação DC e campo magnético. Num ambiente de vácuo, a fonte de alimentação DC aplica um campo eléctrico de alta tensão entre o alvo e o substrato. Quando a intensidade do campo elétrico é grande o suficiente, as moléculas de gás inerte que entram na câmara de vácuo são ionizadas para formar plasma. Os íons positivos nesses plasmas são acelerados sob a ação do campo elétrico e atingem a superfície do alvo a uma velocidade muito alta.
Durante o processo de colisão, os átomos ou moléculas na superfície do alvo são expelidos porque obtêm energia suficiente para formar partículas pulverizadas. Essas partículas voam no vácuo e eventualmente se depositam na superfície do substrato para formar o filme necessário. É importante notar que este processo não é apenas uma simples colisão física, mas também acompanhado por reações físicas e químicas complexas, como neutralização de íons, captura e reemissão de elétrons, etc.
A pulverização catódica simples em CC pode causar problemas como superaquecimento do substrato e baixa eficiência de pulverização catódica. O sistema de deposição por pulverização catódica DC Magnetron introduz um campo magnético. O gerador de campo magnético gera um forte campo magnético na parte de trás do alvo. Este campo magnético interage com o campo elétrico para ligar elétrons próximos à superfície do alvo, formando uma região de plasma de alta densidade. Esses elétrons realizam movimentos espirais no campo magnético, aumentando a frequência de colisões com as moléculas do gás de trabalho, melhorando a eficiência de ionização e a taxa de pulverização catódica.
Resumo do sistema
Revestimentos de íons multiarco e pulverização catódica podem ser depositados em uma ampla gama de cores. A gama de cores pode ser ainda melhorada pela introdução de gases reativos na câmara durante o processo de deposição. Os gases reativos amplamente utilizados para revestimentos decorativos são nitrogênio, oxigênio, argônio ou acetileno. Os revestimentos decorativos são produzidos numa determinada gama de cores, dependendo da relação metal-gás no revestimento e da estrutura do revestimento. Ambos os fatores podem ser alterados alterando os parâmetros de deposição.
Antes da deposição, as peças são limpas para que a superfície fique livre de poeira ou impurezas químicas. Uma vez iniciado o processo de revestimento, todos os parâmetros relevantes do processo são continuamente monitorados e controlados por um sistema automático de controle computadorizado.
• Material do substrato: Vidro, Metal (aço carbono, aço inoxidável, latão), Cerâmica, Plástico, Joalheria.
• Tipo de Estrutura: Estrutura Vertical, Aço Inox #304.
• Filme de Revestimento: Filme metálico multifuncional, filme composto, filme condutor transparente, filme de aumento de refletância, filme de blindagem eletromagnética, filme decorativo.
• Cor do filme: multicores, preto arma, cor dourada titânio, cor rosa dourado, cor aço inoxidável, cor roxa, preto escuro, azul escuro e outras cores.
• Tipos de filme: TiN, CrN, ZrN, TiCN, TiCrN, TiNC, TiALN e DLC.
• Consumíveis em produção: Titânio, Cromo, Zircônio, Ferro, ligas alvo; alvo plano, alvo cilíndrico, alvo duplo, alvo oposto.
APLICATIVO:
• Artigos de vidro, como copos de vidro, luminárias de vidro, obras de arte em vidro.
• Capa plástica para telefone, peças para telefone.
• Mosaico.
• Indústria Eletrônica, como filme EMI.
• Peças de relógios, como caixa e cinto.
• Utensílios de mesa, como garfos e facas de metal.
• Artigos de golfe, como cabeças de golfe, postes de golfe e bolas de golfe.
• Produtos Sanitários/loiças de casa de banho.
• Maçanetas e fechaduras.
• Joias de metal.
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