Qual é o alvo adequado para a máquina de revestimento por pulverização catódica PVD?

O material alvo pulverizado tem as características de alta pureza, alta densidade, multicomponente e grão uniforme, que geralmente é composto de alvo em branco e placa traseira. O alvo em branco pertence à parte central do material alvo de pulverização catódica e é o material alvo bombardeado por feixe de íons de alta velocidade. Depois que o alvo é impactado por íons, os átomos na superfície do alvo são expelidos e depositados no substrato para formar uma película fina eletrônica. Devido à baixa resistência do metal de alta pureza, o alvo de pulverização catódica precisa completar o processo de pulverização catódica em máquinas de alta tensão e alto vácuo Fabricantes de máquinas de revestimento de plasma na China ambiente. O alvo de pulverização catódica de metal de altíssima pureza precisa ser colado à placa traseira por meio de diferentes processos de soldagem. A placa traseira desempenha principalmente o papel de fixar o alvo de pulverização catódica e precisa ter boa condutividade elétrica e térmica.

De acordo com os diferentes materiais utilizados, os alvos de pulverização catódica podem ser divididos em alvo de material único metálico / não metálico, alvo de liga e alvo composto. A tecnologia de deposição por pulverização catódica tem boa repetibilidade, a espessura do filme pode ser controlada e pode ser obtida em uma grande área de materiais de substrato com espessura uniforme. Os filmes preparados apresentam as vantagens de alta pureza, boa compactação e forte adesão aos materiais do substrato, o que se tornou uma das principais tecnologias para preparação de materiais de filmes finos.

Metais de altíssima pureza e alvos de pulverização catódica são componentes importantes de materiais eletrônicos. A cadeia da indústria alvo de pulverização catódica inclui principalmente purificação de metal, fabricação de alvos, revestimento de pulverização catódica e aplicação de terminal, entre os quais a fabricação alvo e o revestimento de pulverização catódica são os elos principais em toda a cadeia da indústria alvo de pulverização catódica.

A purificação de metal a montante é feita principalmente a partir de minérios metálicos naturais. A pureza dos metais em geral pode chegar a 99,8%, e a pureza do alvo de pulverização catódica precisa chegar a 99,999%.

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