Qual é o princípio de funcionamento do revestimento iônico por arco catódico?

Em primeiro lugar, a agulha que atinge o arco (ânodo) com potencial positivo está próxima do alvo (cátodo) com potencial negativo. Quando a distância entre o ânodo e o cátodo é pequena o suficiente, o gás entre os dois eletrodos será quebrado, formando uma corrente de arco, que é semelhante ao arco da soldagem elétrica. Neste momento, parte do N2 é ionizada para formar cátions e elétrons de nitrogênio.

Atraído pela força do campo elétrico, o cátion nitrogênio voará para o cátodo próximo ao alvo e o elétron voará para a agulha de ignição do arco. No entanto, a massa do íon é muito maior que a do elétron. Portanto, sob a mesma força de campo elétrico, a distância de movimento do elétron será maior que a do cátion. Portanto, quando o elétron atinge o ânodo, o íon não alcançará o alvo do cátodo, mas voará para a agulha de ignição do arco. A camada de acumulação de íons positivos é formada perto da superfície do alvo.

A distância entre o cátion e a superfície alvo do cátodo é muito pequena, até o nível do mícron. De acordo com e = u / D, pode-se observar que o campo elétrico no espaço neste momento é alto, o que irá “puxar” os elétrons para fora do alvo. Os elétrons "puxados" voam do alvo do cátodo para a camada de acumulação de íons positivos, formando uma corrente. A camada de empilhamento é conectada à superfície alvo e um arco é gerado próximo à superfície alvo.

Ao mesmo tempo, os íons positivos serão atraídos pela superfície alvo do cátodo, o que faz com que os íons positivos bombardeiem a superfície alvo e produzam pulverização catódica. À medida que as partículas do filme evaporadas ou pulverizadas precisam passar através da camada de acumulação de íons positivos, e no processo de voar para fora da superfície alvo do cátodo, as partículas do filme serão afetadas pelo arco na superfície alvo, de modo que as partículas que chegam na peça de trabalho estão no estado iônico.

A tensão de polarização negativa é geralmente aplicada à peça de trabalho, de modo que os íons positivos voam para a peça de trabalho sob a ação da força do campo elétrico e bombardeiam a peça de trabalho. Fabricantes de máquinas de revestimento DLC . Este bombardeio melhorará a adesão do filme e tornará o atrito denso, o que é muito benéfico para melhorar a qualidade do filme.

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