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Máquina de revestimento a vácuo refere-se principalmente a um tipo de revestimento que precisa ser realizado sob um vácuo mais alto, incluindo muitos tipos, incluindo evaporação por aquecimento por resistência ao vácuo, evaporação por aquecimento por canhão de elétrons, pulverização catódica por magnetron, epitaxia por feixe molecular MBE, deposição por pulverização catódica a laser PLD, íon. tipos de pulverização catódica. A ideia principal está dividida em dois tipos de evaporação e pulverização catódica.
Operação do gabinete de controle elétrico
1. Ligue a bomba de água e a fonte de ar.
2. Ligue a fonte de alimentação principal.
3. Ligue a fonte de alimentação da bomba de manutenção e do vacuômetro, a posição V1 do vacuômetro, aguarde até que o valor seja inferior a 10 e depois entre na próxima etapa. Demora cerca de 5 minutos.
4. Ligue a bomba mecânica, pré-bombeie, ligue a bomba turbo molecular e ligue-a. O interruptor do vacuômetro é alterado para a posição V2. Demora cerca de 20 minutos para reduzir para menos de 2.
5. Após observar que a leitura da bomba turbomolecular chega a 250, desligue a pré-bomba, ligue a bomba auxiliar e a válvula de alto vácuo para continuar aspirando. Depois que o vácuo atingir um determinado nível, ligue o medidor de alto vácuo à direita para observar o vácuo. Somente depois que o vácuo atingir 2×10-3 a fonte de alimentação do canhão de elétrons poderá ser ligada.
1. Ligue a bomba de água e a fonte de ar.
2. Ligue a fonte de alimentação principal.
3. Ligue a fonte de alimentação da bomba de manutenção e do vacuômetro, a posição V1 do vacuômetro, aguarde até que o valor seja inferior a 10 e depois entre na próxima etapa. Demora cerca de 5 minutos.
4. Ligue a bomba mecânica, pré-bombeie, ligue a bomba turbo molecular e ligue-a. O interruptor do vacuômetro é alterado para a posição V2. Demora cerca de 20 minutos para reduzir para menos de 2.
5. Após observar que a leitura da bomba turbomolecular chega a 250, desligue a pré-bomba, ligue a bomba auxiliar e a válvula de alto vácuo para continuar aspirando. Depois que o vácuo atingir um determinado nível, ligue o medidor de alto vácuo à direita para observar o vácuo. Somente depois que o vácuo atingir 2×10-3 a fonte de alimentação do canhão de elétrons poderá ser ligada.
Operação DEF-6B
1. Fonte de alimentação total.
2. Ligue o controle da arma de elétrons Ⅰ e a fonte de alimentação do controle da arma de elétrons Ⅱ ao mesmo tempo: pressione a fonte de alimentação do controle da arma de elétrons Ⅰ, o interruptor de atraso, o atraso, a fonte de alimentação e as luzes de proteção estão acesas. Após três minutos, as luzes de atraso e proteção apagam-se. Se a porta traseira não estiver fechada ou o relé do fluxo de água apresentar falha, a luz de proteção estará sempre acesa.
3. Quando a alta tensão é ligada, a alta tensão atingirá mais de 10KV, a corrente do feixe pode ser ajustada para cerca de 200mA, a grade da cortina é 20V/100mA, a corrente do filamento é 1,2A e a corrente de deflexão oscila entre 1 e 1,7.
Sequência de desligamento
1. Desligue o medidor de alto vácuo e a bomba molecular.
2. Quando o display da bomba molecular atingir 50, desligue a válvula alta, o estágio frontal e a bomba mecânica, por sua vez. Este período leva cerca de 40 minutos.
3. Quando estiver abaixo de 50, desligue a bomba de manutenção novamente.
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