Quais são os principais componentes de um sistema de revestimento a vácuo?

1. Câmara de vácuo

equipamento de revestimento tem principalmente duas formas: linha de produção de revestimento contínuo e máquina de revestimento de câmara única, fabricação de material de aço inoxidável, soldagem a arco de argônio, tratamento de polimento químico de superfície e várias especificações de interfaces de flange são soldadas nos componentes da câmara de vácuo.

2, peça de aquisição de vácuo

Na tecnologia de vácuo, a parte de aquisição de vácuo é uma parte importante. A aquisição de vácuo não pode ser alcançada por um único equipamento e método de vácuo. Várias bombas devem ser usadas em combinação, como bombas mecânicas, bombas Roots, sistemas de bombas moleculares, etc.

3, peça de medição de vácuo

A parte de medição de vácuo do sistema de vácuo serve para medir a pressão na câmara de vácuo. Como uma bomba de vácuo, nenhum medidor de vácuo pode medir toda a faixa de vácuo; portanto, as pessoas criaram muitos tipos de medidores de vácuo de acordo com diferentes princípios e requisitos. Como medidor de termopar, medidor de ionização, medidor Pirani, etc.

4. Parte da fonte de alimentação

A fonte de alimentação alvo inclui principalmente fonte de alimentação DC, fonte de alimentação de frequência intermediária, fonte de alimentação de pulso e fonte de alimentação de radiofrequência (RF). Os fabricantes comuns de fontes de alimentação incluem AE, ADL, Hottinger, etc.

5. Sistema de entrada de gás de processo

Gases de processo, como argônio (Ar), criptônio (Kr), nitrogênio (N2), acetileno (C2H2), metano (CH4), hidrogênio (H2), oxigênio (O2), etc., são geralmente fornecidos por cilindros de gás. Válvula redutora de pressão de gás, válvula de corte de gás, tubulação, medidor de vazão de gás, válvula solenóide, válvula piezoelétrica e, em seguida, na câmara de vácuo. A vantagem desse sistema de entrada de gás é que a tubulação é simples e clara e fácil de reparar ou substituir o cilindro de gás. As máquinas de revestimento não afetam umas às outras. Há também casos em que múltiplas máquinas de revestimento compartilham um conjunto de cilindros de gás. Esta situação pode ser observada em algumas oficinas de revestimento de grande escala. Sua vantagem é a redução da ocupação de botijões de gás, planejamento unificado e layout unificado. A desvantagem é que devido ao aumento do número de juntas, aumenta a chance de vazamento de ar. Além disso, as máquinas de revestimento irão interferir umas nas outras e a tubulação de uma máquina de revestimento poderá vazar ar, o que pode afetar a qualidade do produto de outras máquinas de revestimento. Além disso, ao substituir os cilindros de gás, é necessário garantir que todas as máquinas estejam em estado sem gás.

6. Peça de transmissão mecânica

O revestimento exige que a espessura da periferia seja uniforme. Portanto, deve haver três rotações no processo de revestimento para atender aos requisitos. Ou seja, enquanto a grande mesa da peça precisa girar (I), o pequeno suporte da peça também gira (II), e a própria peça pode girar ao mesmo tempo (III). No projeto mecânico, geralmente há uma grande engrenagem motriz no centro da parte inferior da grande mesa giratória da peça de trabalho e algumas pequenas rodas estreladas engrenam com ela. Se o produto for girado, a peça geralmente é girada por um garfo seletor.

7, parte de medição de aquecimento e temperatura

Os equipamentos de revestimento geralmente possuem aquecedores em diferentes posições e termopares são usados ​​para medir e controlar a temperatura. Entretanto, como a posição de fixação do termopar é diferente da posição da peça, a leitura da temperatura não pode ser a temperatura real da peça. Para medir a temperatura real da peça de trabalho, existem muitos métodos, você pode instalar papel de teste de alta temperatura ou medidor de termopar na peça de trabalho.

8. Evaporação de íons e fonte de pulverização catódica

A fonte de evaporação do revestimento multiarco 　　 geralmente tem a forma de um bolo redondo, comumente conhecido como alvo de bolo redondo, e também existem alvos multiarco retangulares. Um ímã é instalado na base alvo. Ao mover o ímã para frente e para trás, a intensidade do campo magnético é alterada e a velocidade de movimento e a trajetória do ponto do arco podem ser ajustadas. Para reduzir a temperatura do alvo e da base do alvo, a base do alvo deve ser continuamente abastecida com água de resfriamento. Para garantir alta condutividade elétrica e térmica entre o alvo e a base do alvo, uma junta de estanho também pode ser adicionada entre o alvo e a base do alvo. O revestimento de pulverização catódica Magnetron geralmente usa cátodos de pulverização catódica retangulares ou cilíndricos.

9, sistema de refrigeração de água

geralmente consiste em torre de água fria, máquina de água gelada, bomba de água, etc.

10, sistema de controle industrial