3. Temperatura de entrada da água de resfriamento: não superior a 25 ℃
4. Qualidade da água de resfriamento: água de torneira urbana ou água de qualidade equivalente
5. Tensão de alimentação: 380 V, trifásico 50 Hz ou 220 V, monofásico 50 Hz (dependendo das necessidades dos aparelhos elétricos utilizados), a faixa de flutuação de tensão é 342 ~ 399 V ou 198 V ~ 231 V, e a faixa de flutuação de frequência é 49~51Hz;
6. A pressão, temperatura e consumo de ar comprimido, nitrogênio líquido, água quente e fria, etc. exigidos pelo equipamento devem ser indicados no manual de instruções do produto.
7. O ambiente ao redor do equipamento está limpo e o ar está limpo, e não deve haver poeira ou gás que possa causar corrosão na superfície de aparelhos elétricos e outras peças metálicas ou causar condução entre metais.
Além disso, o laboratório ou oficina onde está localizado o equipamento de revestimento a vácuo deve ser mantido limpo e higiênico. O piso é de tijoleira ou madeira pintada, sem poeira. Para evitar que o gás descarregado da bomba mecânica polua o ambiente do laboratório, o método de instalação de um tubo de exaustão (tubo de metal ou borracha) acima da porta de exaustão da bomba pode ser usado para descarregar o gás ao ar livre.
Métodos de manutenção e manutenção de equipamentos de revestimento a vácuo
Depois que o equipamento de revestimento a vácuo completar mais de 200 procedimentos de revestimento, o estúdio deverá ser limpo uma vez.
Método: esfregue repetidamente a parede interna da câmara de vácuo com solução saturada de soda cáustica (NaOH) (observe que a pele humana não pode entrar em contato direto com a solução de soda cáustica para evitar queimaduras). O objetivo é fazer com que o filme revestido de alumínio (AL) reaja com NaOH e a camada de filme após a reação caem e liberam gás hidrogênio. Em seguida, limpe a câmara de vácuo com água limpa e limpe a sujeira dentro da válvula de extração fina com um pano umedecido em gasolina.
Quando a bomba de áspero (bomba de válvula deslizante, bomba de palhetas rotativas) funciona continuamente durante um mês (metade da estação chuvosa), ela precisa ser substituída por óleo novo.
Método: Desaparafuse o parafuso do óleo, drene o óleo antigo e ligue a bomba por alguns segundos para descarregar completamente o óleo antigo da bomba. Desaparafuse o parafuso de retorno de óleo e adicione óleo novo até a quantidade nominal (observada pelo visor de nível de óleo). Por mais de meio ano de uso contínuo, a tampa do óleo deve ser aberta na troca do óleo e a sujeira da caixa deve ser limpa com um pano.
Antes de reiniciar, preste atenção à detecção de vazamentos.
Se a bomba de difusão tiver sido usada continuamente por mais de 6 meses, a velocidade de bombeamento será obviamente reduzida ou a operação será inadequada. Encha a atmosfera com ar, remova o tubo de água de conexão, remova o fogão elétrico, desparafuse o bico de primeiro nível e limpe primeiro a cavidade da bomba e a bexiga da bomba com gasolina. Mais uma vez, lave com sabão em pó misturado com água e depois lave bem com água limpa. Após a evaporação e secagem da água, instale a bexiga da bomba, adicione o novo óleo da bomba de difusão e coloque-o de volta no corpo, conecte o cano de água e instale o fogão elétrico. para reiniciar. Antes de reiniciar, preste atenção à detecção de vazamentos.
Método: Ligue a bomba de manutenção, feche a porta e após alguns minutos observe se o grau de vácuo da bomba difusora atinge 6X10 Pa, caso contrário, realize a detecção de vazamento. Verifique se o anel de vedação está instalado na junta ou se o anel de vedação está esmagado. O aquecimento só pode ser feito após eliminar o perigo oculto de vazamento de ar, caso contrário, o óleo da bomba de difusão queimará o anel e o equipamento de revestimento a vácuo não poderá entrar no estado de funcionamento.