Máquina de revestimento a vácuo por evaporação e princípio físico-Tecnologia Co. do vácuo de Ningbo Danko, Ltd.

Máquina de revestimento a vácuo por evaporação e princípio físico

A evaporação máquina de revestimento a vácuo é composto principalmente por uma câmara de revestimento a vácuo e um sistema de bombeamento a vácuo. Existem fontes de evaporação (ou seja, aquecedores de evaporação), substratos e suportes de substrato, hastes de eletrodos, fontes de alimentação, cadinhos, aquecedores de substrato, sistemas de exaustão, etc. na câmara de vácuo.

O material de revestimento é colocado na fonte de evaporação na câmara de vácuo. Sob condições de alto vácuo, a fonte de evaporação é aquecida para evaporar. Quando o caminho livre médio das moléculas de vapor é maior que o tamanho linear da câmara de vácuo, os átomos e moléculas do vapor do filme evaporarão da fonte de evaporação. Depois que a superfície da fonte escapa, ela raramente colide e é impedida por outras moléculas ou átomos e pode atingir diretamente a superfície do substrato a ser revestido. Devido à baixa temperatura do substrato, as partículas de vapor do material do filme condensam-se sobre ele para formar um filme.

A fim de melhorar a adesão entre as moléculas evaporadas e o substrato, o substrato pode ser ativado por aquecimento apropriado ou limpeza iônica. O processo físico de revestimento por evaporação a vácuo desde a evaporação do material, transporte até a deposição e formação de filme é o seguinte:

1. Use vários métodos para converter outras formas de energia em energia térmica, aquecer o material do filme para evaporar ou sublimar e tornar-se partículas gasosas (átomos, moléculas ou grupos atômicos) com uma certa energia (0,1 ~ 0,3eV):

2. As partículas gasosas deixam a superfície do material da membrana e são transportadas para a superfície do substrato em linha reta com uma velocidade de movimento substancial sem colisão;

3. As partículas gasosas que atingem a superfície do substrato condensam-se e nucleam-se e crescem numa película sólida;

4. Os átomos que compõem o filme são reorganizados e dispostos ou ligados quimicamente.