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1.Pa pascal: Unidade internacional de pressão, 1Pa = 1N/m2.
2.Torr torr: Unidade de pressão, 1 Torr = 1/760 atm. Fornecedores de sistemas de revestimento PVD na China
atmosfera padrão atm: Unidade de pressão, 1atm = 101325Pa。
3.mbar milibar: Unidade de pressão, 1mbar = 102Pa。
4.pressão parcial:Pressão de um componente em uma mistura de gases.
5. pressão total: A soma das pressões de todos os componentes da mistura.
6. vácuo: O estado de um gás abaixo da pressão atmosférica ambiente em um espaço especificado.
7. grau de vácuo: O grau de rarefação de gases no vácuo é geralmente expresso pelo valor de pressão.
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