Métodos comuns de detecção de vazamento de vácuo

Detecção de vazamento por espectrometria de massa de hélio

Esta tecnologia é uma tecnologia indispensável na área de detecção de vazamentos a vácuo. É amplamente utilizado na detecção de vazamentos devido à sua alta eficiência de detecção de vazamentos, fácil operação, resposta sensível do instrumento, alta precisão e não Fornecedores de sistemas de revestimento PVD na China facilmente interferido por outros gases. O detector de vazamento do espectrômetro de massa de hélio é um tipo de instrumento de detecção de estanqueidade de gás baseado no princípio da espectrometria de massa, que usa hélio como gás indicador de vazamento. É composto por uma fonte de íons, um analisador, um coletor, um medidor de ionização de cátodo frio, uma câmara de espectrometria de massa, um sistema de exaustão e uma parte elétrica. Os elétrons emitidos pelo filamento na câmara de espectrometria de massa oscilam para frente e para trás na sala e colidem com o gás interno e o hélio que entra na sala através do orifício com vazamento para ionizar-se em íons positivos. Esses íons de hélio entram no campo magnético sob os cérebros esquerdo e direito do campo elétrico acelerado e desviam devido à ação da força de Lorentz, formando uma órbita em arco circular e alterando o campo elétrico acelerado. A pressão permite que íons de diferentes massas sejam detectados, alcançando o pólo receptor através de campos magnéticos e slots de recepção. O método de injeção de hélio e o método de absorção de hélio são os dois métodos comumente usados ​​na detecção de vazamentos do espectrômetro de massa de hélio.