O que é deposição de filme fino por evaporação térmica?

Um dos métodos comuns de Deposição Física de Vapor (PVD) é a Evaporação Térmica. Esta é uma forma de Thin Film Deposition, que é uma tecnologia de vácuo para aplicação de revestimentos Fornecedores de máquinas de revestimento a vácuo por evaporação de materiais puros para a superfície de vários objetos. Os revestimentos, também chamados de filmes, estão geralmente na faixa de espessura de angstroms a mícrons e podem ser um único material ou podem ser múltiplos materiais em uma estrutura em camadas.
Os materiais a serem aplicados com técnicas de evaporação térmica podem ser elementos atômicos puros, incluindo metais e não metais, ou podem ser moléculas como óxidos e nitretos. O objeto a ser revestido é denominado substrato e pode ser qualquer um dentre uma ampla variedade de coisas, como: wafers semicondutores, células solares, componentes ópticos ou muitas outras possibilidades.

A evaporação térmica envolve o aquecimento de um material sólido dentro de uma câmara de alto vácuo, levando-o a uma temperatura que produz alguma pressão de vapor. Dentro do vácuo, mesmo uma pressão de vapor relativamente baixa é suficiente para levantar uma nuvem de vapor dentro da câmara. Este material evaporado constitui agora uma corrente de vapor, que atravessa a câmara e atinge o substrato, aderindo a ele como um revestimento ou filme.
Uma vez que, nos casos de processos de Evaporação Térmica, o material é aquecido até o seu ponto de fusão e é líquido, geralmente está localizado no fundo da câmara, muitas vezes em algum tipo de cadinho vertical. O vapor então sobe acima desta fonte inferior e os substratos são mantidos invertidos em acessórios apropriados no topo da câmara. As superfícies destinadas a serem revestidas ficam assim voltadas para baixo em direção ao material de origem aquecido para receber o seu revestimento.
Etapas