Qual é o princípio de funcionamento da máquina de revestimento a vácuo？

No campo do revestimento, a espessura da amostra do filme após o revestimento é um fator importante que afeta o desempenho do filme. Portanto, ao avaliar o desempenho de uma amostra de filme, é necessário testar o desempenho da amostra de filme sob diferentes espessuras. No caso do revestimento a vácuo, isso geralmente requer múltiplas preparações de amostras. Porém, existem dois problemas na preparação de amostras para múltiplos tempos: primeiro, o estado do instrumento é diferente para as amostras cultivadas em tempos diferentes, de modo que o fator que afeta o desempenho da amostra de filme pode não ser apenas a espessura; em segundo lugar, a amostra precisa ser aspirada novamente no experimento de revestimento a vácuo. A obtenção é muito demorada. Aumente o custo de produção e testes.

Portanto, é fornecido um sistema multifuncional de revestimento por pulverização catódica por magnetron. Este sistema é integrado por um sistema de revestimento a vácuo e um sistema de porta-luvas. Ele pode completar a evaporação de filme fino em uma câmara de evaporação de alto vácuo e possui gás inerte de alta pureza no porta-luvas. O armazenamento e preparação de amostras e a detecção de amostras após evaporação são realizados em atmosfera. A combinação de revestimento de evaporação e porta-luvas realiza a produção totalmente fechada de evaporação, encapsulamento, testes e outros processos, de modo que todo o processo de crescimento do filme e preparação do dispositivo seja altamente integrado em um sistema completo de atmosfera ambiente controlável, eliminando a grande área orgânica processo de preparação de circuitos A influência de fatores instáveis ​​no ambiente atmosférico garante a preparação de dispositivos e circuitos optoeletrônicos orgânicos de alto desempenho e grandes áreas.

O objetivo principal do sistema de revestimento por pulverização catódica multifuncional: usado para preparar vários filmes metálicos, filmes semicondutores, filmes dielétricos, filmes magnetron, filmes ópticos, filmes supercondutores, filmes sensores e vários filmes funcionais especiais.