O que é pulverização catódica reativa?-Tecnologia Co. do vácuo de Ningbo Danko, Ltd.

O que é pulverização catódica reativa?

Sputtering é uma técnica comum para Deposição Física de Vapor (PVD) Máquina de revestimento a vácuo de filme duro da China , um dos métodos de produção de revestimentos de película fina. A pulverização catódica padrão usa um alvo de qualquer material puro desejado e um gás inerte, geralmente argônio.

Se o material for um único elemento químico puro, os átomos simplesmente saem do alvo naquela forma e se depositam nessa forma.

No entanto, também é possível utilizar um gás não inerte, tal como oxigénio ou azoto, quer em vez de, quer (mais comummente) em adição ao gás inerte (árgon). Quando isto é feito, o gás não inerte ionizado pode reagir quimicamente com a nuvem de vapor do material alvo e produzir um composto molecular que então se torna o filme depositado. Por exemplo, um alvo de silício pulverizado reativamente com gás oxigênio pode produzir uma película de óxido de silício, ou com gás nitrogênio pode produzir uma película de nitreto de silício.

anterior：O que é a pulverização catódica de ouro PVD?
PRÓXIMO：Quais são as características da máquina de revestimento UV?