Como manter e instalar o canhão de elétrons da máquina de revestimento óptico？

O máquina de revestimento óptico é composto principalmente por uma sala de máquinas de revestimento a vácuo, um exaustor a vácuo e um gabinete elétrico (gabinete elétrico de controle, gabinete elétrico de pistola de elétrons), e é usado em microeletrônica, formação de filme óptico, decoração civil, engenharia de superfície e outras áreas. O princípio de funcionamento do equipamento de revestimento óptico é usar feixes de elétrons para aquecer materiais metálicos ou não metálicos a uma temperatura apropriada sob alto vácuo e depois evaporar em moléculas de vapor. O caminho livre médio é maior que a distância da fonte de evaporação ao substrato a ser evaporado. As moléculas de vapor evaporadas são guiadas em todas as direções e depositadas na superfície do substrato para formar uma película fina. Deixe-me falar sobre os métodos de instalação e manutenção do canhão eletrônico:
O sistema de controle da fonte de alimentação do canhão de elétrons é composto por fonte de alimentação de filamento, fonte de alimentação de alta tensão, fonte de alimentação de varredura, fonte de alimentação de acionamento do cadinho, fonte de alimentação de evaporação e assim por diante.
O canhão de elétrons controla a alta tensão no quadro elétrico. A operação normal de cada dispositivo de intertravamento da porta do gabinete é necessária antes do trabalho. Não profissionais não estão autorizados a abrir a porta do quadro elétrico. Durante o trabalho, o canhão eletrônico não deve abrir a porta do quadro elétrico. O quadro elétrico de toda a máquina de revestimento óptico precisa estar bem aterrado e conectado ao aterramento da máquina.
A fonte de vapor do canhão eletrônico é instalada na placa inferior da câmara de vácuo e precisa ter um bom efeito de aterramento com a placa inferior. A instalação da fonte de vapor precisa ser fixada com parafusos de aço inoxidável, e não deve haver nenhum material magnético dentro de 200mm ao seu redor, caso contrário afetará o ponto de luz do canhão de elétrons e causará mau desempenho eletrônico. O defletor do canhão de elétrons deve ser instalado o mais possível 30 mm acima do meio do cadinho da fonte de evaporação, para não afetar a emissão do feixe de elétrons.
A fonte de vapor do canhão de elétrons é um corpo usinado com precisão e é necessária uma boa água de resfriamento durante o trabalho. A temperatura excessiva afetará a formação do feixe de elétrons e o desempenho de cada anel de vedação.
(1) Cabeça de arma eletrônica
A instalação da cabeça da arma afeta diretamente o funcionamento normal da arma. 90% das falhas estão relacionadas à ponta da arma.
Após um certo período de uso da ponta, devido à contaminação dos componentes, ela afetará a formação e a potência do feixe de elétrons, por isso precisa ser desmontada e limpa.
(2) Manutenção do cadinho
Antes de desmontar o cadinho, feche o circuito de água e use ar comprimido para limpar a água no tubo de resfriamento do canhão de elétrons.
(3) Manutenção da placa condutora magnética e anel de varredura
A placa guia e o ímã permanente da máquina de revestimento óptico não precisam ser desmontados e mantidos com frequência. Se precisar desmontar, preste atenção à direção da polaridade do ímã permanente e à direção da placa guia. Como o espaço de instalação da bobina é denso, não force com objetos pontiagudos, caso contrário, poderá causar danos.

Fundada em 2007 como nome anterior Huahong Vacuum Technology, é profissional Fornecedores de máquinas de revestimento de filme óptico na China e Fornecedores de máquinas de revestimento de filme óptico , incluindo, mas não se limitando a, sistemas de pulverização catódica, unidades de revestimento óptico, metalizadores de lote, sistemas de deposição física de vapor (PVD), equipamentos de deposição de revestimento a vácuo duros e resistentes ao desgaste, vidro, PE, revestidores de substrato de PC, máquinas rolo a rolo para revestimento flexível substratos. As máquinas são usadas para uma ampla gama de aplicações descritas abaixo (mas não limitadas a) revestimentos automotivos, decorativos, duros, revestimentos de ferramentas e corte de metal e aplicações de revestimento de filme fino para indústrias e laboratórios, incluindo universidades. para expandir nossos limites de mercado, fornecendo preços de máquinas de revestimento de filme óptico de alta qualidade e alto desempenho no atacado. Nossa empresa está altamente focada no serviço pós-venda nos mercados doméstico e internacional, fornecendo planos precisos de processamento de peças e soluções profissionais para atender às necessidades dos clientes.