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CC Sputtering de magnetron , Sputtering RF Magnetron, Pulsed Magnetron Sputtering e Medium Fre2quency Magnetron Sputtering
A pulverização catódica reativa consiste em introduzir uma certa proporção de gás reativo na atmosfera de gás inerte no sistema de pulverização catódica. Normalmente, os principais gases reativos são o oxigênio e o nitrogênio.
O método de pulverização catódica DC é usado em revestimentos de pulverização catódica e reativa, onde o material pulverizado é um material condutor e o equipamento de processo é simples e tem uma alta taxa de pulverização catódica.
Em um sistema de alvo de cátodo único, a pulverização catódica de magnetron CA de média frequência tem a mesma liberação de carga e efeito de prevenção de arco que a pulverização catódica de magnetron de pulso. A tecnologia de pulverização catódica CA de média frequência também é aplicada ao sistema de pulverização catódica de alvo duplo (Twin2Mag). A pulverização catódica de alvo duplo CA de média frequência consiste em conectar as duas extremidades de saída da fonte de alimentação CA de média frequência aos respectivos cátodos do alvo duplo de pulverização catódica desequilibrada de campo magnético fechado. Portanto, tensões alternadas com fases opostas são obtidas respectivamente nos alvos duplos, e um par de alvos de pulverização catódica de magnetron torna-se alternadamente cátodos e ânodos.
A tecnologia de pulverização catódica de alvo duplo melhora muito a estabilidade da operação de pulverização catódica do magnetron, o que pode evitar o acúmulo de cargas na superfície do alvo envenenada, causando o problema de ignição do arco na superfície do alvo e o desaparecimento do ânodo. Estabeleça as bases para a produção em massa.
Máquina de revestimento por pulverização catódica Magnetron
Revestimentos de íons multiarco e pulverização catódica podem ser depositados em uma ampla gama de cores. A gama de cores pode ser ainda melhorada pela introdução de gases reativos na câmara durante o processo de deposição. Os gases reativos amplamente utilizados para revestimentos decorativos são nitrogênio, oxigênio, argônio ou acetileno. Os revestimentos decorativos são produzidos numa determinada gama de cores, dependendo da relação metal-gás no revestimento e da estrutura do revestimento. Ambos os fatores podem ser alterados alterando os parâmetros de deposição.
Antes da deposição, as peças são limpas para que a superfície fique livre de poeira ou impurezas químicas. Uma vez iniciado o processo de revestimento, todos os parâmetros relevantes do processo são continuamente monitorados e controlados por um sistema automático de controle de computador.
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